申请设施农用地需要遵循以下流程和准备相关材料：
用地者向所在镇街提出书面申请，在申请中应当载明申请用地的具体信息，例如申请人的基本信息以及用地的用途等。
国土员现场勘查，核实申请是否符合土地利用总体规划。
报区国土局审查。
区政府审批。
准备申请材料，包括：
设施农用地备案申请表。
设施农用地使用协议。
用地申请报告。
公司营业执照或法人、自然人身份证明。
用地现状照片。
土地租赁或流转协议。
用地红线图，由具备相应测绘资质的单位出具，包含盖章纸质档、TXT坐标文件和dxf格式文件。
如果涉及占用耕地、林地、草地等，应提供有关审批手续。
签订用地协议。使用集体土地的，需要由乡镇政府组织农村集体经济组织、土地承包者、经营者就土地使用年限、土地用途、土地复垦要求及时限、土地交还和违约责任等土地使用条件进行协商，达成一致意见后，再由农村集体经济组织、土地承包者和经营者共同签订用地协议。
其他可能需要的文件，例如：
营业执照或预先核准通知书（涉及成立企业的）。
农业设施用地审核申请表。
土地承包经营合同。
集体经济组织同意农业设施用地会议纪要。
选址意见书及选址图（属城镇规划区内，由区规划局办理，之外的由各镇街办理）。
地形图及勘界技术报告（用地单位委托中介单位办理）。
占用林地的需提供林业部门批复。
设施建设方案及平面布置图。
用地复垦保证书、委托造地协议及补充耕地方案。
请注意，具体流程和所需材料可能因地区和具体情况而有所不同，建议提前咨询当地国土部门或相关机构以获取详细信息。